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第1章 感测器基础论1

1.1 感测器的性质1

1.1.1 感测器的功用1

1.1.2 信息与信号2

1.1.3 感测器与感测系统3

1.1.4 信息的1次抽出4

1.2 感测器的分类5

1.2.1 依物理定律利用法分类5

1.2.2 依变换原理分类8

1.2.3 依能量利用形态的分类12

1.2.4 依与对象的关系分类13

1.2.5 依输出信号分类14

1.3.1 现象的分类18

1.3 变换上利用的现象18

1.4 感测系统的构成法27

1.4.1 信息的有效利用27

1.4.2 环境变动的影响除去法28

1.4.3 多元次信息的取得33

1.4.4 智慧化34

1.5 感测器的性能35

1.5.1 基本性能35

1.5.2 感度35

1.5.3 感测器的可靠性38

1.5.4 响应特性40

第2章 力学、热学量感测器41

2.1 几何学量感测器41

2.1.1 前言41

2.1.2 位移感测器42

2.1.3 角位移感测器45

2.1.4 应变感测器47

2.1.5 速度感测器49

2.2 力学量感测器50

2.2.1 力感测器50

2.2.2 扭矩感测器56

2.3 流体量感测器57

2.3.1 流量、流速感测器58

2.3.2 压力、差压感测器62

2.3.3 密度感测器、粘度感测器67

2.4 热学量感测器67

2.4.1 前言68

2.4.2 温度感测器68

2.4.3 热量感测器77

2.4.4 湿度感测器79

第3章 电磁学、光学量感测器80

3.1 电磁学量感测器80

3.1.1 电磁学量的极限感测80

3.1.2 SQUID磁束计与人体磁性测定81

3.1.3 光纤电磁学量感测器84

3.1.4 光学磁学量感测量的应用86

3.2 光学量感测器89

3.2.1 2次元光学量感测器89

3.2.2 固体摄像装置89

3.2.3 高密度固体摄像器件93

3.2.4 极微弱光摄像器件94

3.2.5 超高速现象的画像化97

3.3 放射线感测器98

3.3.1 放射线源与其性质98

3.3.2 放射线感测器102

第4章 化学量感测器111

4.1 前言111

4.2 化学感测器的种类与用途111

4.3 化学感测器的构成与动作样式115

4.3.1 直接变换方式与其原理115

4.3.2 间接变换方式与其原理116

4.4 气体感测器117

4.4.1 直接变换方式的气体感测器117

4.4.2 能量变换型间接变换方式的气体感测器121

4.4.3 能量调变型间接变换方式的气体感测器122

4.5 溶液系感测器131

4.5.1 离子电极132

4.5.2 ISFET133

4.6 人体系感测器135

4.6.1 直接变换的人体感测器136

4.6.2 间接变换型人体感测器137

第5章 新材料与器件140

5.1 陶瓷感测器140

5.1.1 用为感测器材料的陶瓷140

5.1.2 感测器用构造材料的陶瓷140

5.1.3 利用机能性陶瓷的感测器143

5.2 半导体感测器149

5.2.1 结晶半导体物性的利用149

5.2.2 器件特性的利用151

5.2.3 物性设计技术的应用153

5.2.4 非结晶半导体的利用155

5.2.5 微细加工技术的应用157

5.3 有机材料与感测器158

5.3.1 前言159

5.3.2 光感测器161

5.3.3 力学量感测器164

5.3.4 气体感测器167

5.3.5 结语169

5.4 光纤感测器169

5.4.1 光纤的特色与感测器应用169

5.4.2 用光纤为传送路的构成170

5.4.3 用光纤本身为感测器的构成172

5.4.4 分布型、准分布型光纤感测器177

5.4.5 光纤回转仪179

5.5 人体感测器182

5.5.1 前言182

5.5.2 酵素FET感测器183

5.5.3 薄膜电极人体感测器185

5.5.4 结语与今後的展望188

5.6 微细加工器件189

5.6.1 矽微细加工器件的特色189

5.6.2 矽的微细加工法190

5.6.3 矽微细加工技术在感测器的应用192

第6章 新型感测器系统198

6.1 感测器的智能化198

6.1.1 感测器智能化的途径198

6.2 尖端应用分野的感测器系统214

6.2.1 感测器系统的现状214

6.2.2 制程测定的感测器214

6.2.3 机器人的感测器218

6.2.4 民生-家庭用机器223

6.2.5 医用感测器系统229

6.2.6 汽车的感测器236