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第1章 光学薄膜原理1

1.1薄膜干涉1

1.1.1光的波动性1

1.1.2薄膜干涉2

1.1.3驻波干涉5

1.1.4偏振效应6

1.2光学薄膜系统的特性计算8

1.2.1矢量作图法8

1.2.2递推法11

1.2.3矩阵法13

本章小结18

思考与练习题18

第2章 常用光学薄膜19

2.1增透膜19

2.1.1单层增透膜20

2.1.2双层增透膜22

2.1.3三层增透膜23

2.2反射膜25

2.2.1金属反射膜25

2.2.2介质高反膜30

2.3分光膜34

2.3.1金属分光镜34

2.3.2介质分光镜35

2.4干涉截止滤光膜39

2.4.1截止带特性40

2.4.2通带特性41

2.4.3截止滤光片倾斜使用时的偏振效应43

2.4.4利用金属薄膜的宽带截止滤光片44

2.5带通滤光片46

2.5.1法布里-珀珞滤光片46

2.5.2全介质法布里-珀珞滤光片50

2.5.3多半波滤光片52

2.5.4诱导透射滤光片54

本章小结55

思考与练习题56

第3章 真空镀膜技术57

3.1真空知识57

3.1.1真空基础知识57

3.1.2真空泵60

3.1.3真空管道与阀门67

3.1.4真空材料68

3.1.5真空密封69

3.1.6真空的测量70

3.2真空镀膜装置71

3.2.1真空镀膜机的构成72

3.2.2真空镀膜机的安装与调试73

3.2.3真空镀膜机的操作步骤74

3.2.4真空系统的检漏75

3.3真空镀膜方法76

3.3.1电阻热蒸镀法76

3.3.2电子束加热蒸发80

3.3.3激光蒸发81

3.3.4反应蒸发82

3.3.5溅射84

3.3.6离子镀89

3.3.7离子辅助镀92

3.3.8分子束外延93

本章小结95

思考与练习题95

第4章 膜层厚度监控方法97

4.1目视法97

4.2光学监控法99

4.2.1极值法99

4.2.2波长调制法109

4.2.3宽光谱扫描110

4.3石英晶体控制法111

4.4膜层厚度均匀性112

4.4.1膜厚的理论分布113

4.4.2改善均匀性的措施117

本章小结120

思考与练习题120

第5章 光学薄膜制备工艺因素121

5.1制备工艺因素分析121

5.1.1基板处理122

5.1.2制备参数123

5.1.3蒸汽入射角125

5.1.4老化处理126

5.2工艺因素优选127

本章小结129

思考与练习题129

第6章 真空镀膜材料131

6.1金属薄膜131

6.1.1铝（Al）132

6.1.2银（Ag）133

6.1.3金（Au）134

6.1.4铬（Cr）134

6.2介质和半导体薄膜135

6.2.1对材料的基本要求135

6.2.2几种常用薄膜的性质138

6.3红外与紫外薄膜142

6.3.1红外薄膜材料142

6.3.2紫外薄膜材料143

6.4有机薄膜与任意折射率薄膜147

6.4.1有机薄膜147

6.4.2任意折射率薄膜148

本章小结149

思考与练习题150

第7章 薄膜的结构特性151

7.1薄膜的形成151

7.1.1表面吸附151

7.1.2成核过程152

7.1.3膜的生长153

7.2薄膜的微观结构153

7.2.1基本的微观结构特性153

7.2.2薄膜生长的计算机模拟155

7.2.3薄膜的晶体结构156

7.2.4微观结构的观测158

7.3薄膜的成分160

7.4薄膜微观结构和成分对膜层性质的影响163

7.4.1光学不稳定性163

7.4.2光学损耗164

7.4.3折射率非均匀性166

7.4.4抗激光损伤167

7.5改善结构的途径171

本章小结174

思考与练习题175

第8章 光学薄膜检测176

8.1薄膜的光学性质及测量176

8.1.1光谱特性176

8.1.2光学常数181

8.2薄膜的力学性质及其检测185

8.2.1薄膜的附着力和硬度185

8.2.2薄膜的应力188

本章小结194

思考与练习题194

参考文献195